Veeco 단일 Filament 소스는 대용량 고부가가치 MBE(분자선 결정성장) 공정에 알맞은 경제적 솔루션입니다. 종속 대역 열전대와 단일 히터 filament를 사용하여 750°C - 1200°C 범위의 작업을 처리합니다. 세 가지 시스템 구성과 다양한 도가니 크기를 선택할 수 있습니다. 어떤 제품이든 고증기압 재료의 flux를 안정적이고 일정하게 공급합니다.

• 특허 받은 설계로 1125개 이상 현장 배치
• 단일 filament "cold-lip" 및 "hot-lip" 설계
• 사실상 모든 전원 공급 장치와 호환 가능
• 다양한 범위의 크기 선택 가능
• 탁월한 성능 및 가치

Veeco MBE 단일 Filament 소스는 다음 세 가지 버전으로 이용할 수 있습니다.

• 표준 Filament 소스. 표준 Filament 소스는 균일하게 분포된 단일 히터 filament를 사용하는 일반 소스입니다. 모든 설계는 도가니 접촉 면적이 넓은 대역 열전대를 포함합니다. 소스 가열이 균일하더라도 도가니 오리피스의 복사열 손실 때문에 특히 소스 용량이 더 많을 경우 소스 끝부분은 상대적으로 온도가 낮습니다. 알루미늄 증발의 경우 아래에서 논의하는 바와 같이 "cold-lip" 효과를 향상하는 편이 바람직할 수 있습니다.
• 개조 Filament 소스. 이 소스는 특허 받은 "개조" 단일 filament 설계가 특징입니다. filament 한 개로 도가니 바닥 부분을 균일하게 가열하되 상단의 filament 밀도가 높아 오리피스 복사열 손실을 상쇄하는 형태로 "Hot-lip" 가열이 이루어집니다. 이러한 설계는 도가니 용량이 작을 경우에 특히 효과적입니다.
• 알루미늄용 Cold-Lip 소스. 용융 알루미늄은 PBN을 습윤하며 그 결과 기존 소스에서는 충전물의 크리프 및 범람이 발생하는 경우가 많았습니다. 알루미늄을 범람하게 하는 요인에는 소스 설치 각도, 알루미늄 로드 양 및 소스 램프 속도 등이 있습니다. 표준 소스를 사용했을 때 크리프 및 범람이 반복해서 일어나는 문제가 있는 사용자는 더 짧은 filament로 "cold lip"을 과다하게 만들어 내는 특수 단일 filament 소스가 필요할 수도 있습니다. 알루미늄용 Cold-Lip 소스는 알루미늄이 밖으로 흘러나와 소스를 손상시키기 전에 도가니 입구에서 알루미늄을 멈춥니다.

까다로운 응용 분야이거나 더 큰 소스 용량이 필요할 때는 이중 Filament 또는 SUMO 소스가 적합합니다.

성능 및 장점

단일 Filament 소스는 우수한 성능과 일반 응용 분야에 맞는 가치를 제공합니다. 표준 Filament 소스는 대역식 열전대로 인해 더 나아진 정확도와 안정성으로 열 안정성을 향상합니다. 개조 Filament 소스의 hot-lip 가열은 갈륨 및 인듐 관련 타원형 결함을 줄여 줍니다. 또한 도가니의 응축을 방지하여 기타 재료의 증발 안정성과 재현성을 향상시킵니다.