다양한 응용 분야에 걸쳐 탁월한 Throughput 및 재현성 발휘
Veeco의 SPECTOR® Loadlock 이온 빔 Sputtering 시스템을 통해 다양한 응용 분야에서 충분한 throughput 향상이 가능합니다. substrate 로딩 후 5분 내로 증착 시작이 가능한 SPECTOR Loadlock System은 배치 도구에 필요한 일반 공정 준비 단계보다 증착 시간이 짧은 설계의 throughput을 쉽게 두 배로 향상시킵니다.
또한 압력, 온도, 대상 표면 증착, 이온 소스 전력과 같은 공정 파라미터에 대한 정상 상태 조건 유지 기능을 통해 시스템 재현성이 향상됩니다. 적은 대기 및 수분 노출 덕분에 SPECTOR Loadlock 사용자는 무선 주파수 neutralizer, 챔버 라이너, 인한 차폐 등의 부품에 대해 향상된 MTBM(유지관리 간 평균 시간)을 기대할 수 있습니다. 이러한 기능과 장점을 통합하여 사용자는 아주 적은 비용으로 우수한 정밀성 및 품질을 가진 피막을 제조하여 시장에서 사용할 수 있습니다.