임계 온도 안정성을 발휘하는 이 소스는 고증기압 재료의 무밸브 증발을 위한 현존 최고의 소스입니다. 이를 위해 독특한 형태의 도가니에 맞춰 제작된 이중 filament 히터를 사용하며, 또한 이러한 설계 덕분에 도가니 입구 부분의 응축 현상과 flux shadowing 및 source occlusion도 방지됩니다. 도가니 내부의 배압을 한층 더 제한하기 위한 삽입물도 선택하여 장착할 수 있습니다.

• 특허 받은 설계로 175개 이상 현장 배치
• 저온 증발을 위한 다목적 고성능 소스
• 탁월한 flux 안정성과 균일성에 넉넉한 충전량을 결합한 SUMO 설계
• 재료 품질을 최적화하는 PBN 도가니 구조
• 유기 재료에 이상적인 소스

특허 받은 저온 SUMO® 소스는 고증기압 재료의 무밸브 증발을 위한 현존 최고의 소스입니다. SUMO 소스는 독특한 모양의 도가니에 맞춘 이중 filament 히터로 이루어져 있습니다. hot-lip 모드로 작동하는 소스는 도가니 입구의 재료 recondensation으로 발생하는 flux shadowing과 source occlusion을 방지합니다. 작동 온도 100–750°C 범위에서 소스 반응성과 안정성의 최적화를 위해 설계된 열 차폐 패키지에 저온 SUMO 소스가 밀폐됩니다.

작은 온도 변화조차도 flux에서는 극적인 변화를 불러올 수 있기 때문에 온도 안정성은 고증기압 재료에 중요합니다. substrate 조작기에서 방사되는 열로 인해 매우 낮은 소스 작업 조건으로 안정적인 beam flux를 유지하기가 어려울 때도 있습니다. 더 작은 오리피스 크기 덕분에 원추형 또는 cylindrical 도가니 대신 SUMO 소스를 사용하는 경우 이 현상은 크게 감소합니다.

175개 이상 현장 사용 중인 특허 받은 설계, 저온 증발용 다목적 고성능 소스, 도가니 오리피스의 응축을 방지하는 이중 filament hot-lip 가열, 탁월한 flux 안정성과 균일성에 넉넉한 충전량을 결합한 SUMO 설계, 재료 품질을 최적화하는 PBN 도가니 구조, 유기 재료에 이상적인 소스.

SUMO 도가니

특허 받은 도가니의 독특한 기능:

• 넉넉한 충전량을 자랑하는 cylindrical 저장 탱크와 장기적 공핍 효과 최소화
• flux 분배를 최적화하는 소형 테이퍼드 오리피스
• 재료 낭비를 최소화하고 탁월한 flux uniformity를 실현하는 배출구
• 재료 품질을 최적화하는 PBN 구조

선택적 삽입물을 사용하여 도가니 오리피스 크기를 제한하고 이를 통해 도가니 내부의 배압을 높일 수 있습니다. 이러한 기법은 dopant에 사용되는 것 등의 고증기압 재료 성능을 향상시킬 수 있습니다. 삽입물은 특히 300°C 이하의 온도에서 작동하는 소스용으로 이상적입니다.

유기물용 저온 SUMO

저온 SUMO 소스는 OLED(유기 발광 다이오드)와 전자 응용 분야에서 보통 사용하는 고증기압 유기 재료에 적합합니다. 유기물은 열 전도율이 낮기 때문에 기존의 증발 소스로는 안정적인 beam flux를 실현하기가 어렵습니다. 저온 SUMO 소스는 안정적이고 균일한 유기물 증착을 위한 최고의 솔루션입니다. 재료의 활용도를 극대화하고 블로바이를 최소화하기 위해 collimated beam이 필요한 응용 분야의 경우 "longhorn" SUMO 도가니를 이용할 수 있습니다.

성능 및 장점

저온 SUMO 소스는 고증기압 재료를 증발시키기 위한 요구에 따라 정확하게 맞춤 조절됩니다.

장점:

• 낮은 작동 온도에서 최적의 성능 발휘
• 넉넉한 충전량
• 이중 Filament "Hot-Lip" 가열로 도가니 오리피스의 응축 방지
• 장기적 flux 안정성
• 최소한의 shutter transients
• 최적의 재료 품질을 위한 PBN 도가니 구조