Veeco RF Plasma Source Autotuner는 핸즈프리 작업이 가능한 Veeco 범용 전구 RF 플라즈마 소스와 함께 사용합니다. Autotuner는 최적의 플라즈마 소스 상태를 자동으로 조절 및 유지하므로 실험 중 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 예를 들어, 가스 흐름 또는 전력 레벨과 같은 작동 조건이 자주 바뀌면 Autotuner는 프로세스를 자동화할 수 있는 탁월한 솔루션입니다. Autotuner는 Autotuning Controller, Autotuning Unit 및 Autotuning Power Supply 세 가지로 구성됩니다. Autotuning Controller는 작업자가 접근 가능한 컨트롤, Autotuning Unit 상태의 시각적 디스플레이, 사용자 가공 시스템의 제어 인터페이스를 갖추고 있습니다. Autotuning Unit은 변수 커패시터 두 개 및 고정 인덕터 한 개로 구성됩니다. Autotuning Unit 내 변수 커패시터는 servo-motor로 구동되며 Autotuning Controller로 전력을 공급받습니다. Autotuning Power Supply는 장치에 전력을 공급하여 적절한 기능을 유지하는 동시에 적절한 전력 요구를 보장합니다. 모든 Veeco Autotuner는 Veeco UNI-Bulb RF 플라즈마 소스를 표준으로 배송하며, Veeco 수동 튜너에 대한 직접 교체품으로 제공됩니다. Autotuner를 추가하면 안정적인 성장 조건을 보장하고 전력 효율을 최적화할 수 있는 혜택이 있습니다. Autotuning Controller의 프로그래밍 가능 파라미터로 다양한 옵션 선택이 가능하므로 사용자 정의하거나 응용 분야의 필요에 맞출 수 있습니다.

자동 모드에서 Autotuning Unit의 내부 센서(단계 및 규모 감지기)는 오류 시그널을 생성합니다. Autotuning Controller는 오류 신호에 반응하여 servo-motor를 구동함으로써 자동으로 네트워크를 적합한 플라즈마 임피던스로 조정합니다.

수동 모드에서 변수 커패시터는 전면 패널의 MIN/MAX 스위치를 사용해 배치되며, 작업자가 수동으로 autotuning unit을 조정해 플라즈마 임피던스에 일치하도록 servo-motor 회전 방향을 제어합니다.

• 안정적인 성장 조건 보장
• 전력 효율성 최적화
• 핸즈프리 작업 가능
• Veeco 산소 및 질소 RF 플라즈마 소스와 호환 사용 가능