그리드형 DC 이온 소스
성능이 입증된 선형 그리드형 DC 이온 소스로서 광범위한 대량 개별 substrate 또는 대량 substrate 배치를 이용하는 이온 빔 증착 공정 플랫폼에 사용되어 고도의 균일성과 신뢰성을 발휘합니다.
이온 소스 작업 시 최첨단 정밀 제어 기능 등을 갖춘 Veeco의 SOLUS™ DC 이온 소스 컨트롤러를 사용해 안정적으로 전원을 공급받을 수 있습니다…
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대규모/광범위한 substrate 또는 대규모 substrate 배치 작업을 위해 성능이 입증된 선형 소스로서 Veeco의 그리드형 DC 이온 소스는…
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