식각 시스템

정밀하고 정교한 식각을 자랑하는 NEXUS® IBE(이온 빔 식각) 시스템으로 개별적인 microelectronic 장치와 구성요소를 우수한 수율로 생산합니다.

EXUS® IBE™ 이온 빔 식각 시스템으로 슬라이더 수율을 극대화하고 탁월한 이온빔 식각 균일성을 얻을 수 있습니다.