Sputtering 시스템

재료가 가장 중요한 상황에서 초정밀 고순도 박막층 장치는 IBD(이온 빔 증착) 시스템을 통해 최대의 균일성과 반복성을 통해 달성합니다.

증착 시간이 일반적으로 필요한 전 공정 단계보다 짧은 설계의 경우 처리량을 쉽게 두 배로 늘릴 수 있습니다.

Veeco의 SPECTOR® IBS(이온 빔 Sputtering) 광학 코팅 시스템으로 우수한 정밀도와 박막 공정의 유연성을 얻을 수 있습니다.

Veeco의 SPECTOR® 광역을 사용하면 전자빔 시스템에 가까운 배치 크기로 타의 추종을 불허하는 이온 빔 박막 품질을 얻을 수 있습니다.

Veeco의 Quest Broadband Optical Monitor로 향상된 재현성과 뛰어난 공정 제어를 경험해 보십시오. 이 기능을 통해 다음을 제어할 수 있습니다.