리소그래피 시스템
Veeco는 점점 더 작아지는 라인과 공간 문제를 해결하는 리소그래피 시스템 업계를 이끌어 가는 리더입니다.
Veeco는 AP 리소그래피와 본질적인 차이를 만들고 있습니다.
- 업계 선두의 워핑된 웨이퍼 처리
- 광학 초점 기능
- 가장 발전된 L/S에 대한 CD 균일성 우수 라인 해상도
- 선두의 설치 기반과 입증된 대량 생산
Veeco의 리소그래피 시스템 제품군은 사용자 정의 가능한 Unity Platform™을 기반으로 제작되어 우수한 오버레이, 해상도 및 사이드…
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